博士，助理研究员
younannan@ime.ac.cn
北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子研究所
教育经历
2017.9-2022.6 中国科学院微电子研究所 微电子学与固体电子学 工学博士
2013.9-2017.6 合肥工业大学 信息工程系 微电子科学与工程 工学学士
工作经历
2022.6 – 至今 中国科学院微电子研究所 助理研究员
研究方向
主要从事SiC MOS栅氧内容的研究， 包括等离子体氧化动力学和热氧氧化动力学，理论与建模、栅界面及栅介质质量表征分析，迁移率表征分析等。
代表论文
- Nannan You, Xinyu Liu, Jilong Hao, et al. Microwave plasma oxidation kinetics of SiC based on fast oxygen exchange, Vacuum,2020,182 (109762). (SCI)
- Nannan You, Xinyu Liu, Yun Bai, et al. Oxidation kinetics of SiC in microwave oxygen plasma, Applied Surface Science,2021,562 (150165). (SCI)
- Nannan You, Xinyu Liu, Yun Bai, et al. Demonstration of non-negligible oxygen exchange in the thermal oxidation of silicon carbide, Vacuum,2021,191 (110403). (SCI)
- Nannan You, Shengkai Wang, Jilong Hao, et al. Investigation of SiC microwave plasma oxidation kinetics via oxygen isotope labelling, International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM) 2019. (国际会议)
- Nannan You, Xinyu Liu, Yun Bai, et al. Oxygen Out-diffusion to the Ambient During SiO2/SiC Oxidation, International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS (IWDTF) 2021. (国际会议)